二手 NIKON NSR S308F #293817909 待售

NIKON NSR S308F
ID: 293817909
ArF Scanner Numerical Aperture (NA): 0.92 Resolution: 70 nm DCO:  ≤8.
NIKON NSR S308F是一种晶圆步进器,专为高吞吐量和生产级性能而设计,具有多种高级功能和选项可供选择。这种步进器利用经过现场验证的8英寸镜头,提供最大的光学性能。NSR S308F还配备了先进的UV照明设备,能够提供多达25个mW/cm2,以及高速自动对焦,以便快速准确对准。该晶片步进器通过利用复杂的机械光学设计来实现每个应用程序的最佳图像质量,从而减少零件之间的变化。它还具有离子束铣削子系统,这是一种高效、精确的干燥蚀刻方法,用于保护暴露的表面。高级NIKON NSR S308F还设计用于优化进一步的现场吞吐量。凭借其强大的基于PC的用户界面,用户可以快速产生结果,并确信他们能够满足所有所需的要求。此外,该系统还采用激光钻孔填充工艺进行设计,该工艺旨在高度控制钻孔的表面粗糙度、角角和深度。此外,NSR S308F还配备了高级设计,消除了与其他光学成像系统相关的繁琐的临时调整。它还简化了维护,采用了先进的HotCathode离子束枪控制功能,为用户提供了精确控制图像曝光的手段。此外,NIKON NSR S308F利用扫描模式和无扫描模式来实现其最大晶圆吞吐量。该单元可用于对齐和扫描多种多种晶片格式与单次拍摄的冷凝器光束,以及无扫描步进/扫描的高长宽比模式。此外,独特的收缩梁设计进一步提高了机器的高效性能,创建了更浅、更均匀的边框壁,从而降低了阵列的复杂性。综上所述,NSR S308F晶片步进器是生产级应用的理想选择,它结合了高速自动对焦、精密的UV照明、离子束铣削子系统和激光钻孔填充工艺等先进特性,提供了最高的直通控制和质量控制。
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