二手 NIKON NSR S308F #293821681 待售

NIKON NSR S308F是一种晶圆步进器，设计用于半导体制造行业的高精度光刻应用。它配备了先进的光学设备，可以在一次曝光的情况下在单个晶片上打印多层。步进器可在所有层中提供精确控制的图像质量,包括高精度制造的精细阵列和复杂的层迭加。NSR S308F是使用NIKON专有的列内源扫描系统（ICSS）构建的,在光刻过程中具有最高精度。ICSS使用专门的柱源来雾化光，并最大化其均匀性和准确性。这样可以确保在具有各种图像类型的晶片上创建高精度、高分辨率的结构。步进器配备了高速晶片级，可以在X-Y轴上移动到100毫米/秒，在θ轴上移动20度/秒，用于曝光和晶片处理速度。该级还具有先进的振动控制单元,可将C2C max降至700 nm,以实现卓越的图像处理。NIKON NSR S308F还包括一个内置的镜面对准机，允许更好的精度在光刻。该工具监视单个镜像的状态和光学资产的整体对齐方式。该模型还提供了激光光束的自动调整,以实现光学器件的最佳对准,并将失准误差从3 μ m降低到可接受的0.1 μ m。此外,步进器还具有Stiff Frame结构,可防止图像在晶片上晃动。框架还支持快速散热,从而减少整体光学像差并改善对比度。这样可以缩短步进器的整体弧度时间并提高生产效率。总体而言，NSR S308F是为半导体制造行业的光刻设计的高精度晶圆步进器。它配备了先进的光学设备，并使用ICSS和内置镜像对准设备保持精确的图像质量。此外，它还具有高速晶片级和刚架结构，以提高生产效率。