二手 NIKON NSR S308F #9293213 待售

NIKON NSR S308F
ID: 9293213
晶圆大小: 12"
Scanner, 12".
NIKON NSR S308F是一种高端晶圆步进器,用于大批量生产集成电路(IC)、内存芯片等各种组件等先进半导体器件。它具有非常小巧和轻巧的车身设计,非常适合以超高图像质量直接生产基板。它是超高分辨率光刻专用的专业工具,提供创新、强大和可靠的性能。NSR S308F配备了先进的光学设备,配备了最先进的光学组件,可在整个领域提供纳米级分辨率。NIKON NSR采用的光学区域成像(OZI)系统S308F进一步提高步进器可实现的分辨率。它具有快速可靠的扫描移位速度,能够产生高达1 um的线性和0.5 um的平方模式。NSR S308F的5步放大单元可轻松地在大小场之间切换,并具有广泛的曝光放大范围。NIKON NSR S308F提供快速、灵活和高级的控制功能,如实时光学扫描控制、多重曝光算法、晶圆失真校正和Auto Focus。利用机内自动对准特性实现了精确的迭加精度。NSR S308F同样具有重型对齐能力,其大型晶圆支撑平面设计符合共同的平坦度要求。它配备了各种材料的光束成形板和吸收器,为各种光学工具参数的轻松优化提供了一个灵活的平台。独特的空气淋浴资产能够处理颗粒尺寸高达0.7微米的清洁环境敏感基板。此外,NIKON NSR S308F还提供高速生产,每小时高达2500晶圆的高吞吐量。它还具有快速、精确的自动对焦功能,以高放大倍率的视角确保1nm以上的最佳图像质量。大型平板显示器和易于访问的按钮布局允许简单直观的操作。NSR S308F是一种先进而可靠的光刻模型,它的尖端技术设计能够有效地提高效率和产量。
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