二手 NIKON NSR S308F #9304337 待售

NIKON NSR S308F步进器是一种先进的半导体光刻设备，用于制造集成电路。步进器具有三步减速光学元件,这是一个大的场板,可容纳直径不超过10英寸的基板,并且包括专有的高级扫描系统,用于高速、高精度的阵列。该设备的扫描字段大小为8 x 10英寸,能够以正负图像模式成像。NSR S308F使用范围广泛的波长范围从248nm到35nm。步进器与多种光源兼容，包括i-line、氟化k（KrF）和第二代ArF。该机还具有许多先进的成像功能，如低振动空气轴承，具有出色的吞吐量和确保稳定性能的晶圆传输工具。该资产配备了多种先进的自动化功能，可轻松高效地处理基板。其中包括晶圆对准模型、带有用于快速基板加载的夹紧区的真空卡盘以及扫描级移位设备。自动标线加载/卸载功能允许快速转换模式和精确的模式,从而提供卓越的吞吐量和高产率。高性能步进器以其5nm的配准精度提供精确的迭加配准和精确的边缘放置。此外，该系统还配备了多项功能以确保条件稳定，包括自动对焦控制单元、EFG（电子力透镜）机，以及将温度精度保持在+/-0.5摄氏度以内的先进加热器控制工具。最后，该资产的设计是为了提供环境友好的操作，低功耗和低噪音和热量的排放。综上所述，NIKON NSR S308F步进器是实现半导体光刻高产量、高精度的绝佳选择。它能够处理各种基板，并具有一系列自动化功能，以高效处理。NSR S308F步进器具有5纳米的配准精度和环保设计,确保为任何生产过程带来精度和质量。