二手 NIKON NSR S322F #293665226 待售

NIKON NSR S322F是一种革命性的晶圆步进器，为半导体制造提供了广泛的功能。这种步进和重复对准设备是为高分辨率晶片步进器应用而设计的，是第一种专门针对自动晶片光刻要求而设计的步进器。它利用NIKON "i"系列光学器件,提供出色的场平面度、表面粗糙度和高分辨率成像功能。NSR S322F具有直径可达200毫米的晶圆尺寸,这是目前晶圆制造的最大直径。它还具有4英寸视觉系统,具有高级功能,包括完整的图像捕捉和缝合、增强模式和相位填充功能。此外,内置自动缺陷审查（ADR）单元允许在晶片出厂前检测和纠正晶片上的任何缺陷或不一致之处。NIKON NSR S322F也具有很高的几何精度，对准精度为0.5微米。这意味着它能够产生大的、形状精确的元件，而不会产生任何失真或失真相关的影响。此外,这种步进器使用8英寸或12英寸的掩模,每小时可提供高达900个晶圆的吞吐量,并提供高达0.5微米的孔径,光束大小为0.4微米。最后,NSR S322F采用节能光源设计,在运行过程中可实现更高的稳定性和节能。此步进器还提供出色的温度控制,以实现最佳分辨率,即使在高温条件下,用户也可以轻松调整机器的焦点。此外,它还包括一个集中式控制工具,可轻松访问预期的步进参数。这样可以确保以最有效的方式处理晶片,从而提供最佳性能和产品质量。