二手 NIKON NSR S322F #293665735 待售

NIKON NSR S322F是一种高性能的半自动晶片步进器，用于半导体工业的光刻应用。这是一个精密的光学成像工具，具有先进的精度和对准能力。NSR S322F有一个单发的光学设备，这使它能够减少曝光时间和在整个晶圆上出现的不对准。它利用高级几何校正功能在晶圆上对齐阵列,以确保形成精确的阵列。步进器配备了全孔径图像场测量和调节系统，用于光学单元的精确对准和调平。这样可以快速反馈和调整,以确保整个晶片的曝光准确性。图像场测量机还可以对步进器的光学工具进行动态调平，以确保一致准确的性能。NIKON NSR S322F还具有坚固可靠的XY平台和高精度光学空气轴承资产,用于在曝光和制图过程中固定晶片。这样可以减少任何错位,并导致高精度光刻。步进器还配备了超高速实时焦点检测模型，该模型使用相移算法快速测量整个芯片上的焦点。此设备允许在曝光前快速反馈和调整焦点,以减少任何未对准错误。NSR S322F还具有一个多位置对齐系统，该系统可以在晶圆上移动模式坐标，从而在整个芯片上实现精确对齐。步进器还有一个复合成像单元，将成像和光子能量传递结合在一起，形成横跨晶圆的图样。此外，NIKON NSR S322F支持多种晶圆格式，配备备件，并拥有用户友好的操作机器。此工具允许自动调整和优化过程参数,以降低故障率、最大限度地提高产量和提高吞吐量。总之，NSR S322F是一种高精度、半自动的晶片步进器，旨在提供一致、准确的光刻性能。它配备了先进的成像技术和一系列功能，以确保精确对准、动态聚焦和低级别的误差。步进器还具有易于使用的接口，并且与各种各样的晶圆格式兼容。