二手 NIKON NSR S322F #293671643 待售

ID: 293671643
Scanner Resolution: ≦ 65 nm Exposure light source: ArF Excimer laser (193 nm Wavelength) Reduction ratio: 1:4 Maximum exposure field: 26 mm x 33 mm Overlay: Single Machine Overlay (SMO): ≦2 nm Mix and Match Overlay (MMO): ≦5 nm Throughput: ≧ 230 Wafers / Hour (96 Shots).
NIKON NSR S322F是下一代晶圆步进器,旨在提供晶圆尺度的高分辨率成像。步进器的设计可容纳48英寸直径的晶圆,这是大批量生产的行业标准。NSR S322F具有先进的光学和成像功能,可提供纳米级分辨率以确保准确性和可重复性。该设备还能够将晶片索引到不同的高度,以便于访问和对齐。NIKON NSR S322F配备了提供实时反馈和数字控制的高级CCD阵列摄像头,使用户可以为任何应用快速轻松地配置步进器。该系统还有一个可配置的图像处理单元,使用户能够在扫描和成像模式下优化图像质量。此功能还允许用户自定义曝光时间、镜头光圈、聚焦等成像参数。作为CCD阵列相机的产物,NSR S322F包括一台自动对焦机,无论扫描晶圆的高度和曝光时间如何,它都能帮助确保一致的图像质量。NIKON NSR S322F还具有现场成像工具,允许用户在一个周期内扫描大型零件。资产的多重曝光功能允许用户在不同曝光时扫描晶圆的不同部分,从而获得更高分辨率的图像。通过利用此功能,工程师能够快速处理包含多个组件的晶片。NSR S322F还有一个光强度控制器,以帮助确保一致的照明条件。这样可以确保成像的准确性,而不管一天中的时间如何。此外,步进器还与各种图像处理和软件工具兼容,例如图像同步和图像掩蔽。这些工具旨在提高晶圆处理应用程序的生产率和效率。总体而言,NIKON NSR S322F是最先进的晶圆步进器,为工业成像提供了理想的平台。其先进的成像能力、现场成像模型、CCD阵列摄像头、自动对焦设备和光强度控制器,以紧凑、经济实惠的包装提供无与伦比的精度和成像质量。
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