二手 NIKON NSR S322F #293671842 待售

NIKON NSR S322F是由NIKON製造的先进晶圆步进器。它被用于生产集成电路，这需要精确的对准来生产高质量的集成电路产品。这种步进器结合了大行程和高精度XY扫描仪，允许在处理过程中对晶片进行高精度对准。NSR S322F能够将晶圆对准的准确性和可重复性保持到0.1微米。NIKON NSR S322F利用NIKON先进的成像光学器件和高度刚性的外部结构提供卓越的成像性能和精确度。NSR S322F采用了强大的4-kW光学照明设备,旨在最大程度地减少散射效应和杂光引起的像差,并在整个场大小上提供均匀的照明。利用NIKON NSR S322F先进的光学和照明系统,它能够对75 mm宽的晶圆扫描场进行成像,在整个场中保持极高的图像均匀性和可重复性。这种步进器还具有高速自动对焦单元，利用最先进的检测技术和先进的信号处理算法来检测晶圆表面的缺陷。这台自动对焦机可在整个扫描范围内提供极高精度的聚焦,从而最大限度地利用步进器的成像功能。NSR S322F还包括一个具有高精度步进电机的曝光工具，旨在提供严密的曝光控制，同时保持低噪声曝光运动。这一曝光资产能够与NIKON NSR S322F的4-kW照明模型交互，达到曝光性能的极致，同时最大限度地减少散射和反射出晶圆表面的光量。NSR S322F还具有先进的机动化级,可提供快速、高精度的晶圆运动,同时保持极低的沉降时间和最小的高速振动。这种步进器使用直接驱动和微处理技术的组合，提供精确的精度和可重复性的晶圆运动高达0.1微米。此外,NIKON NSR S 322F电动级的特殊防护涂层可确保长期性能和可靠性。NSR S322F是一种极其精确且用途广泛的晶圆步进器，旨在满足最苛刻的集成电路制造设施的需求。NIKON NSR S322F拥有先进的成像光学器件、高速自动对焦设备和电动级,可为任何要求苛刻的晶片处理任务提供最佳的性能和精度。