二手 NIKON NSR S322F #293817907 待售

NIKON NSR S322F是使用NIKON专有成像技术的下一代晶圆步进器。该设备的设计目的是精确控制应用光刻技术的晶片每一层的暴露。这项技术广泛用于集成电路（IC）的制造，用于通信、汽车和其他消费电子等多种应用。NSR S322F在工艺精度、精密操作和降低环境负载等方面取得了重大进展,为设备制造商提供了极致的性能。该系统采用最新的镜头内自动化和成像技术，如高分辨率全画幅成像，以确保最小线宽和间距精度的卓越图像保真度。步进器还提供了广泛的曝光参数,使用户能够为其特定进程自定义设备。自扫描和热控制机有助于确保对准级和扫描镜的运动高度准确可靠。NIKON NSR S322F专为临界尺寸（CD）在0.3至1.0 µm之间的IC而设计，最大曝光场尺寸为22 mm。它能够处理尺寸小至1 µm的目标，具有0.025 µm的高精度计量能力，具有内/外扫描可重复性。此外,该工具具有很高的吞吐量,可实现极快的周转,每小时最多可处理25个晶圆。此外,它的紧凑设计允许对其进行配置,以便轻松集成到现有系统和工作区中。NSR S322F具有卓越的环境保护功能。其坚固的结构保护它免受可能来自其环境的颗粒的影响，而其气密的室内设计则在整个操作过程中保持清洁。资产包括一个监测模型，跟踪工艺室内的化学含量，减少维护要求和成本。该设备还确保降低氧气水平的环境，以确保优越的基板附着力。最后，NIKON NSR S322F配备了可靠的检测系统，可以检测过程中的任何异常。此设备可帮助设备以最小的手动干预来保持其性能。此外，机器可以通过及早识别不需要的事件来防止污染和缺陷。因此,该工具有助于确保高吞吐量和更短的总周期时间。