二手 NIKON NSR S609B #293817904 待售

NIKON NSR S609B
ID: 293817904
ArF Scanner Numerical Aperture (NA): 1.07 Resolution: 60 nm Throughput (WPH): 130.
NIKON NSR S609B是一种晶圆步进器,用于广泛的光刻工艺。它设计用于在半导体晶片上精确、精确地制作图样。NSR S609B利用先进的高精度光学和照明技术,加上快速可靠的硬件和软件来执行精确和精确的模式。它能够在晶片上产生极高分辨率的图像。NIKON NSR S609B是一种光源设备。它采用具有气体处置配置的大功率KrF准分子激光光源,产生聚焦深度较大的均匀光束。光源还采用多光束成形、光学稳定和曝光尺寸等技术,以增加吞吐量和减少浪费。NSR S609B还具有许多其他高级硬件特性。它配备了一个刚性、轻巧的龙门,用于快速准确地放置光学器件,并配有精细的驱动步进电机。该系统还包括一个高度敏感的曝光位置检测单元、一台先进的自动对焦机以及广泛的曝光元件和测量系统。该工具由Nikon5200软件PDW控制,PDW是控制晶圆步进器的一种易于使用和可靠的接口。它能够控制多个曝光参数,包括焦点、剂量、波长、曝光时间、曝光剂量和快门角度。此外,它还允许控制曝光元素以及高级维护和曝光后分析工具。NIKON NSR S609B旨在满足当今不断增长的半导体行业的需求。它具有广泛的光刻工艺,包括低k1工艺和双曝光工艺,同时仍提供最高精度和精确度。其高效可靠的运行,加上先进的能力,使其成为任何参与制造半导体晶片的人的理想选择。
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