二手 NIKON NSR S609B #9223197 待售

NIKON NSR S609B是为高级光刻应用而设计的精密模式识别微步进式曝光设备。作为具有近场光源的浸入式成像系统，NSR S609B融合了广泛的先进功能，使其适合集成电路、平板显示器等前沿技术领域的先进应用。NIKON NSR S609B提供了一个先进的空间对齐单元，能够快速、精确地检测全局或局部对齐误差。该机经过优化，能够准确地进行图像配准，根据抗蚀层上的背面或正面闸门对准标记对自身进行定向。该工具还使用了一种专有的光学传感技术来检测多个步进对准标记，以获得更精确的模式选择性。NSR S609B具有极快的曝光速度,非常适合高速光刻应用。该资产每秒最多可提供4次曝光,以满足集成电路和平板显示器最苛刻的吞吐量要求。该模型还提供了高度聚焦深度和易于与其他系统集成的高级成像解决方桉。先进的成像设备能够在扩展的场深度上精确聚焦和对准图层,并且样品对样品的聚焦最小。NIKON NSR S609B配备6英寸显微镜端口，便于与现有实验室设置集成。NSR S609B还能够实现无与伦比的分辨率和模式特征大小控制。这使得它成为在集成电路和显示基板领域满足光刻应用要求的理想系统。该单元具有产生低至0.6 µm特征尺寸的能力，可以处理25 nm的最小特征尺寸和50 nm的最小线距。NIKON NSR S609B采用高精度机械配准和先进的数控技术设计.这有助于实现高度精确和可重复的阵列放置和迭加精度。由于其低主轴电平和高分辨率步进电机脉冲控制,无论形状或大小如何,机器都能呈现稳定且可重复的图样成像性能。NSR S609B是为优化可用性和操作方便而设计的。该工具与STEP-NC编程和远程控制完全兼容，使其能够集成到各种制造环境中。再者，该机配备了24 V光源，可以作为机上设备使用，并附带数字用户界面，以简化资产利用，减少机器交互时间。综上所述，NIKON NSR S609B是为高性能成像和快速发展的技术应用而设计的先进晶圆步进模型。它结合了速度、准确性和可用性，确保它能够满足最苛刻的光刻需求。