二手 NIKON NSR S610C #293633334 待售

NIKON NSR S610C是一种晶圆步进器,专为光刻应用而设计,需要精确、精确地曝光100纳米或以下的特征。是一款采用高放大倍率、多层透镜、激光干涉仪自动对焦的6轴设备，以及独特的Quad Air Bearing系统，以确保高精度和可重复生产高质量半导体芯片。NSR S610C使用高功率照明和超高速图像捕获功能,在广泛的曝光时间内提供可重复和准确的输出。该单元还提供了卓越的透焦图像扫描,以最大限度地提高图像精度并最大限度地减少污点错误。它还配备了完整的模式识别和缺陷检测功能。NIKON NSR S610C具有1至90皮秒的曝光速度，相当于每秒10,000次曝光。它能够将具有高折射率表面的抗蚀剂暴露于具有高反射率界面的抗蚀剂中。该机还支持先进的计量工具，如先进的散射法，用于高精度的模式保真度检查和过程控制。NSR S610C配备了一套过程监控功能，包括实时航空图像检查、直接晶圆审查、模煳测量和边缘检测。该工具还具有直观的图形用户界面,为用户提供了一个熟悉且易于使用的平台来控制其流程。NIKON NSR S610C提供高级定制选项,包括各种操作掩码和预设,以及可选的实时流程分析和监控。资产可配置多种可互换光学器件，如广角透镜和流体透镜扫描系统，以及专用透镜的组合。它还集成了远程操作功能，如远程聚焦和曝光调整，以及远程监控和调整曝光参数。NSR S610C是光刻应用的理想晶片步进器,需要高度可重复和精确地曝光低至100纳米或更小的特性。其可靠的性能、先进的定制功能和直观的图形用户界面使其成为任何光刻实验室或生产线的宝贵资产。