二手 NIKON NSR S610C #293633336 待售

NIKON NSR S610C
ID: 293633336
ArF Immersion scanners TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+.
NIKON NSR S610C是晶圆步进器的一种先进类型,适合于高端半导体光刻。它是一种具有广泛应用范围的浸入式步进器,能够在不影响整体性能的情况下处理多层石质结构。它具有平滑的扫描运动、精确的对准和高质量的晶圆成像。NSR S610C配备了一套全面的功能,从而实现了电路的高效提升和阵列化。此步进器利用五轴级设计,允许扫描操作即使在高放大倍率下也能产生高保真图像。NIKON NSR S610C的内部和外部均由直接驱动马达驱动,提供精确和快速的运动,并具有子孔径精度。当涉及到成像,NSR S610C的结果是优秀的晶圆均匀性和保真度。它的板载光学对准机构允许精确和精确的定位,无论结构的大小和复杂性如何。它配备了先进的图像识别系统,使其能够精确评估抗拒配置文件,从而能够补偿任何具有挑战性的边缘放置条件。NIKON NSR S610C还提供多种安全功能,以保护用户和机器。其先进的联锁系统监控内外故障,防止损坏和事故。此外,快速清洗系统减少污染,并允许机器快速用于下一个晶片。NSR S610C是为高端光刻工艺设计的先进晶圆步进器。NIKON NSR S610C具有五轴级设计、精确的图像识别系统和高效的清洁系统,是一种有效可靠的光刻解决方桉。它的多重安全特性使其成为任何半导体光刻应用的安全可靠的选择。
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