二手 NIKON NSR S610C #293817905 待售
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ID: 293817905
ArF Immersion scanner
Numerical Aperture (NA): 1.3
Resolution: 50 nm
Throughput (WPH): 130.
NIKON NSR S610C是一种高性能、全自动、顶级的晶圆步进器。利用专有工艺,它实现了非常精确的高密度精细图桉的生产,达到了传统光刻系统无法比拟的程度。NSR S610C配备了世界上功能最强大的图像传输设备,具有3-D多层、多值曝光功能,即使是最复杂的图样也能实现高精度生产。较短的晶圆传输时间不仅缩短了生产时间,还使得能够在单个周期内创建高度集成的组件。该系统还支持各种尺寸和材料的基板,使其成为高密度、高保真生产的理想平台。NIKON NSR S610C提供出色的成像能力,包括产生平滑、无锯齿状图样的能力,以及均匀的曝光分布。此外,精密的晶圆对准单元允许对基板进行精确对准,减少了错位的可能性,并确保了对所需图样设计的良好遵守。一个集成到NSR中的优秀调平器S610C即使是晶圆表面最微小的缺陷,例如污染区域或损坏可能造成的外部颗粒,也能检测到这些缺陷。这样可以提高生产精度,并有助于防止任何不需要的颜色饱和度或由外来材料引起的线条。NIKON NSR S610C提供卓越的光学性能,以满足即使是最苛刻的项目的需求。可自定义的顶级成像子系统可提供最高精度和灵活性,而全自动加载端口可用于将晶片快速轻松地传输到机器中进行生产。最后,NSR S610C配备了直观、易于使用的控制和监控系统。专用软件在配置步进器和监控其进度方面提供了高度的灵活性和控制,使其成为生产中最重要的精度和速度的完美选择。
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