二手 NIKON NSR S610C #9207261 待售

NIKON NSR S610C Stepper是一种高端晶圆步进器,它采用了真正集成的光刻方法。这个步进器採用快速的两阶段成像系统，允许使用比传统晶圆步进器更短的曝光时间。NSR S610C Stepper利用高性能的4英寸投影镜头最大限度地减少失真和减少像差，确保高质量的输出。此步进器还提供了一个独特的切割功能,允许使用各种自定义进程。NIKON NSR S610C Stepper具有多场直接对准传感器,可提供有关晶圆方向和位置的具体信息。此步进器还提供了广泛的曝光剂量计算模式选项,用户可以轻松调整输出质量。NSR S610C Stepper采用了先进的机电一体化设计,可实现快速、精确的对齐,使用户可以缩短周期时间。NIKON NSR S610C Stepper拥有集成的聚焦伺服控制模块,可提供出色的可重复性,确保整个晶圆的聚焦深度得到精确控制。为了确保最小化颗粒的引入，NSR S610C Stepper采用了先进的臭氧和颗粒控制系统。此步进器提供27°C-45°C的不同水温,以确保晶圆加工的最佳条件。NIKON NSR S610C Stepper还提供了一部分（PBP）工艺控制,具有广泛的作业参数,每批晶片都可以存储这些参数。NSR S610C Stepper集成了高精度SU-8激光编码的电阻率和遥感技术,以便更轻松地控制掩蔽过程。该步进器采用环境可持续设计，采用全屏蔽等离子体排气系统，在晶圆加工过程中方便使用有害材料。NIKON NSR S610C Stepper通过其众多特定于应用程序的自定义模块提供模块化功能。这种步进技术使用户能够处理多种材料和尺寸广泛的基材，使他们能够高效率地完成高端晶圆的生产要求。NSR S610C Stepper专为高精度、速度和质量而设计,使其成为光刻应用的顶级晶片步进器。