二手 NIKON NSR S620D #293817903 待售

NIKON NSR S620D是由NIKON设计制造的高分辨率、高精度晶圆步进器。这种步进器利用了步进扫描投影曝光技术，其中相干光束通过一系列透镜直到到达掩模。然后按逐步增量移动掩模,然后在晶片表面上进行曝光。该步进器具有高达0.0085 μ m的精细螺距设计，是晶圆步进器工业中最先进的技术。它采用了先进的NIKON超高分辨率镜头,以最大程度地减少像差和最大化均匀性,从而实现了4倍的减小能力和270mm的均匀场尺寸。NIKON NSR-S620D还具有高速扫描曝光区域和高性能扫描电子设备。扫描速度最大为12000毫米/秒,但中心部分（高分辨率区域）,可保持8000毫米/秒的恒定速度。与传统系统相比,此功能使用户能够显着缩短周期时间。NSR S620D包括一个高效率的晶圆对准设备，能够在3轴上测量高达0.5 μ m，位移分辨率为0.25 μ m。Autofocus （AF）系统通过补偿晶圆地形波动来确保连续聚焦。此步进器上的晶片卡盘是单元的重要部分。它是可清洁的，并提供-81 kPa的高真空水平，稳定度为+/-0.05 kPa。卡盘还具有0.3-0.7 MPa的均匀卡盘压力。NSR-S620D还具有广泛的接触、剂量和接触时间参数。这允许用户为其暴露的对象选择最合适的设置,同时确保步进器操作过程中的高控制和精度。此外，NIKON NSR S620D还配备了先进的光束管理能力，以提高曝光均匀性。它具有一台带有Z-shift控制器的自动对焦机，使用户能够立即将z-direction移动几微米，以补偿晶圆表面的不规则性。并利用有源消减控制器提高步进器投影曝光工具的图像质量。NIKON NSR-S620D是一种高性能、高精度的晶圆步进器，旨在满足半导体制造商最苛刻的需求。它提供了多种功能,使用户能够更快、更精确地生成精细的音高设计。