二手 NIKON NSR S620D #9198048 待售

NIKON NSR S620D系列晶片步进器是为半导体器件制造而设计的最先进的光学光刻设备。它采用了高度精确、高精度、基于激光的投影光学系统以及先进的硬件技术。这种晶片步进器确保了生产新一代高端半导体器件的精确可靠的光刻。NIKON NSR-S620D的特色是其高端光学单元和高级图形用户界面（GUI）。光学机器由两个对比的光学子系统组成：低压和高压投影系统.低压投影工具具有良好的扫描性能，而高压投影工具适用于深层光刻过程。此外，光学投影镜头安装在自动对焦导轨资产上，用于精确对准和成像。GUI为用户提供了一个直观便捷的平台，可以设置不同的参数，轻松做出调整。晶圆步进器还配备了2微米成像对准精度。它具有内置的自动对齐功能,如精细对齐、离轴检查（OAI）成像和基准标记匹配。此外,用户可以自定义NSR S620D系列的设置以满足自己的要求。最大扫描范围为25 mm x 24 mm,最大分辨率可达16 nm,最大分辨率可达2英寸。这允许在高级IC设备的小特性上制造高密度模式。此外，晶片步进器与高性能的涂层系统和纺丝机完全兼容，使得创建复杂的分层电路成为可能。NSR-S620D还具有其他一些功能,使其非常适合高端IC生产。其低电磁干扰（EMI）使得它适合敏感设备。它还利用高精度电机和光学器件确保精确定位和成像。此外，晶片步进器构造有耐用的元件，使其能够承受长期使用。总而言之,NIKON NSR S620D是一种晶圆步进器,具有卓越的成像精度和性能。其高精度的光学、自动化的对准功能和宽广的视野使其适合生产质量最高的尖端半导体器件。其卓越的设计和坚固的结构使其具有确保长期在任何实验室或生产环境中使用所需的耐用性和可靠性。