二手 NIKON NSR S620D #9401370 待售

NIKON NSR S620D是由NIKON开发的高性能晶圆步进器，为半导体制造工艺提供卓越的精度和精确度。NIKON NSR-S620D采用先进的扫描技术和光学器件来实现性能和灵活性,这对于高端微芯片成像和蚀刻至关重要。NSR S620D是使用具有六轴级和倾斜处理能力的全自动设备设计的。该系统提供了处理各种晶圆尺寸的最大灵活性,并且可以处理多种晶圆安装配置。NSR-S620D的设计旨在支持广泛的曝光应用,包括光学光刻、光掩模曝光、蚀刻和瞬态等离子体曝光。NIKON NSR S620D具有坚固的定位单元,最大步进精度为2.5 μ m。NIKON的6轴级和倾斜能力NSR-S620D可以精确定位晶片并确保均匀的曝光水平。为了保持最高性能标准，NSR S620D在每个曝光过程中都配备了镜头和晶圆的三维自动对准。这台光学定位机通过使用一系列相机和参考镜实现了高度精度。它还利用NIKON先进的激光对准技术来保证高位置精度。NSR-S620D的高精度光学成像工具能够在整个视野中提供高达0.5 μ米的分辨率。这种卓越的性能是通过整合NIKON专有成像光学器件和强大的光源实现的。NIKON NSR S620D还配备了扫描激光功率调节资产,以确保在所有曝光参数范围内都具有最佳的均匀图像。除了卓越的想象力外,NIKON NSR-S620D还可实现最高的效率和吞吐量。该设备每小时最多可支持12个晶片,涵盖各种尺寸和功能。此外，NSR S620D还配备了内置干式真空吸尘器和氮气净化模型，以确保清洁、无尘环境。总体而言,NSR-S620D是一种先进的晶片步进器,在高端微芯片成像和蚀刻过程中提供卓越的精度和精确度。NIKON NSR S620D提供了一个非常可靠和高效的生产过程,是寻求提高其吞吐量和提供卓越结果的半导体制造商的理想解决方桉。