二手 NIKON NSR SF100 #132126 待售

NIKON NSR SF100是一种晶圆步进器，专为细微光刻而设计。步进器具有先进的对齐和优化功能,以确保最高质量的平版印刷结果。NIKON NSR-SF 100的双致动器XY级设备允许高精度和可重复性的模式放置在晶圆。舞台还采用了模具对准光学系统，配备了1 µm运动分辨率和± 2 wem对准精度。此外,步进器还具有自动对齐反馈单元,可实时准确检测和校正边缘放置误差,从而确保获得最高质量的光刻效果。NIKON SF100晶圆步进器利用先进的照明机器，支持广泛的曝光条件，并以优异的曝光分辨率（E： R）提供高生产率。步进器还配备了高速非接触晶片装卸工具，允许快速完成晶片装卸循环。NSR SF 100提供最大400毫米晶圆尺寸和每个晶圆最大36个曝光场。它与SEL Design Expert和SEL Framework软件配合使用,为重迭区域校正和过程优化支持提供了一整套工具。通过改进的TIS（总成像资产）特性,NIKON NSR-SF 100晶圆步进器在先进的设备制造过程中提供了最高的光刻效果。NSR-SF100晶片步进器具有许多其他特性，使其成为亚微米光刻工艺的理想选择。它包含了广泛的能量控制模型和准确、低噪声的能量扫描功能。此外，步进器还具有图像格式支持、光学设备参数无限、运行速度高等特点，在不牺牲精度的前提下支持最高吞吐量。总体而言,NIKON NSR SF 100是一款先进的光刻步进器,为要求最苛刻的研究和制造应用提供卓越的性能和卓越的光刻可靠性。步进器的先进特性和高精度使其成为希望在亚微米光刻工艺中取得优异成绩的公司的理想选择。