二手 NIKON NSR SF110 #293655797 待售

NIKON NSR SF110是一种先进的晶圆步进器，旨在为当今的微光刻应用提供最佳性能。它旨在实现更高的吞吐量和更少的缺陷。NSR SF110是NIKON NSR步进器系列的旗舰产品，提供光刻技术的最新进展。NIKON NSR SF110提供了广泛的特性和灵活性，使其适合于各种微光刻工艺。步进器配备了高度先进的高性能主曝光照明设备，优化数值孔径（NA）为0.78。它还具有用于性能测量的高分辨率干涉对比度系统和具有自动故障校正功能的故障检测单元。NSR SF110的一个主要特点是它的两级底座允许晶片级倾斜和旋转，使其更容易对准曝光镜头。步进器还支持精细的级运动，提供晶圆的精确处理。NIKON NSR SF110还配备了超过30个内部参数的高效自动平衡，为每次晶圆曝光提供了最佳的设置条件。此外,它还配备了自动调色刻度机,用于调整曝光光强度,从而实现更高的曝光精度和更少的缺陷。NSR SF110由高性能计算机控制单元提供动力,并带有液晶显示器面板,操作方便。它具有较低的热漂移和减振功能，可最大程度地减少振动引起的光学误差。步进器还采用了曝光报告生成工具，为用户提供了其流程的全面概述。NIKON NSR SF110晶片步进器结合了广泛的高级特性，允许有效的晶片曝光和最少的人工干预。其先进的特点、灵活性和优越的性能使其成为微光刻应用的绝佳选择。