二手 NIKON NSR SF110 #293817935 待售

NIKON NSR SF110
ID: 293817935
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.52 Resolution: 350 nm DCO:  45 Throughput (WPH): 100~120.
NIKON NSR SF110 Wafer Stepper是一种高精度的高速曝光工具,旨在产生复杂微观元件的卓越图像。这款超精密仪器量身定制,可处理直径达8英寸的晶片基板。它配备了一系列先进的功能,允许对半导体进行极高质量的成像和处理。NSR SF110由一系列高级元素组成,例如具有集成惯性导航设备(INS)的高度精确级和高级曝光光学元件。这些元件协同工作以确保卓越的成像精度,而不会影响晶片步进速度。此外,该系统还配备了一个高分辨率CCD摄像头,能够以高达4.5 μ米的亚微米分辨率拍摄图像。NIKON NSR SF 110的高级级系统也提供了先进的对准和对准稳定性。集成的"冗余"对齐单元允许快速、精确的校正。这样可以确保不会出现错位,即使在成像机需要高速执行时也是如此。此外,NSR SF110能够同时处理多达8个作业的曝光程序。这些程序使晶片步进器能够管理跨多个视图字段以及多个作业或束的扫描。所有这些功能使NIKON能够生成高度详细的图像,即使在高吞吐量条件下也是如此。NIKON NSR SF110还包括增强安全感。它提供了数据日志,确保了完整的隐私,并且它还具有一个高级加密工具,可防止未经授权的访问。此外,该资产还具有可选的喷砂功能,可用于高级抛光。在生产速度方面,NSR SF110的可编程曝光时间高达十分之一秒,从而提高了吞吐量。它还能够在一天内提供多达600次曝光。这种效率使得它非常适合大批量生产的情况。最后,NIKON NSR SF110是一个集成模型,提供了很大的灵活性。它与大多数现有的宽光系统兼容,并提供各种曝光选项。它可以处理各种晶圆直径,为不同表面特性的半导体量身定制。此外,还可以根据任何特定的生产需要定制其功能。
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