二手 NIKON NSR SF110 #293821683 待售

NIKON NSR SF110是为大容量半导体生产而设计的先进晶圆步进设备。该系统由带二极管激光照明器的47纳米扫描仪供电，能够产生直径达200毫米的晶片。晶圆尺寸由单位的高精度、低速定位技术调节，使得产品质量最高。NSR SF110配备了1 µm或更高精度的自动迭加对齐机，同时还提供了0.1µm的超高分辨率。还包括高级晶片加载工具和高速晶片旋转机构，以提高吞吐量。此外,该资产还具有晶片级位置监视器和工艺强度监视器,可实时监控晶片级和工艺条件。NIKON NSR SF110具有先进的流程控制,例如WiRED（无线更换电子设备）一种用于流程自动化和配方数据分析的通信接口。它还包含一个多功能的板载扫描仪处理器和控制器（SPC）以及一个功能强大的芯片对齐器（DA）,它提供了对图案化晶片的可见性和分析。SPC提供高分辨率的数字处理、图像管理和数据存储能力，用于处理和分析晶圆。利用模式搜索和识别（PSR）算法快速分析和识别晶圆上的模式。NSR SF110还配备了电子标线对准模型（ERS），用于在曝光工具中使用标线之前对标线进行测量和对准。该设备的对准精度小于0.5µm。该单元还包括一个独特的检测系统,该系统能够检测晶片上的缺陷,并且可以在检测到的任何缺陷超过指定限制时自动停止曝光序列。NIKON NSR SF110具有各种安全功能，如激光辐射的安全联锁、光路的防毒盖和潜在危险区域的安全标签警告。机器中还安装了警报机，在可能出现问题时提醒操作员。NSR SF110是半导体工业的重要工具，为暴露晶圆提供高精度和严格的质量控制。