二手 NIKON NSR SF120 #293589139 待售

NIKON NSR SF120是一种用于微光刻工艺的高精度晶圆步进器。它是一种先进的设备，设计用于在硅和其他半导体基板上生产高质量的微结构。本机使用先进光学，光学领域广。它拥有35mm的视野，是同级中最大的。光源为200毫米激光器，NIKON的这一产品在光学元件边缘有涂层，以减少反射和耀斑。显微镜透镜也被涂覆以提供样品的清晰图像。NIKON NSR-SF120配备了一个6轴电动级，能够精确定位在基板上，分辨率为0.25 μ m。步进器有一个五轴气流系统，以尽量减少环境振动，使其达到亚微米的对焦公差。NSR SF 120的设计可容纳各种基材,能够加工直径达450mm的基材。其晶片处理程序能够为基板提供安全的真空保持，并能实现精确的高速晶片处理。该设备的全面自动化确保了可靠和高效的性能。它具有内置的可编程电机控制器和用户友好界面，可用于输入和管理各种应用程序的步骤和配方。它还有一套移动和固定的机器人组件，可以完全控制步进器。NSR SF120还配备了自动对焦校准和对准机。此工具利用先进的线聚焦算法来测量多条线在基板表面上的边缘焦点,然后根据需要使用此信息进行校正。NIKON NSR SF 120是一种功能强大且可靠的晶圆步进器，适合广泛的微光刻应用。它符合人体工程学设计，非常适合大批量工业生产。