二手 NIKON NSR SF120 #293606907 待售
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NIKON NSR SF120是一种精密的晶圆步进器,旨在在半导体和微电子器件的生产中实现高精度的光刻工艺。它的先进设计允许使用专门的镜头和曝光系统制作复杂而精确的图样。该SF120采用紧凑的设计,即使在空间最狭窄和最干净的环境中也适合安装和操作。步进器的建立是为了最小化振动和保持精度。有多种曝光镜头,包括几乎衍射受限的镜头和其他针对不同分辨率和尺寸的优化镜头。此外,曝光设备还包括一种专有的节能曝光模式。该SF120具有简化的小型环境。这样既能实现高可重复性和准确性,又能减少静电。平台设有曝光监控系统,可实时连续监控和纠正曝光情况。此外,步进器还配备了自动曝光参数,允许微调曝光条件以获得最佳性能。这减少了调整曝光参数的时间和复杂性。NIKON NSR-SF120配备了最先进的成像系统,使用户能够对模式执行图像处理和数据分析。这一先进的成像装置采用高速、高分辨率、2400万像素的成像机设计,能够捕获和分析关键相移数据。此外,它还配备了双缝设计以提高临界对准精度,并配备了防尘快门以减少与污染相关的缺陷。除了光刻功能外,NSR SF 120还具有许多缺陷检测功能。该工具配备了先进的图像分析和模具级缺陷检测系统。此外,还提供了一些附加功能,包括烘烤系统和红外LED冷却系统,这些功能有助于延长处理时间。NSR-SF120是一种先进的晶圆步进器,用于支持高精度和复杂模式的生产。其先进的成像资产和精密的微型环境设计可实现高度准确和可重复的曝光。此外,其缺陷检测功能确保了产品的最高质量。
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