二手 NIKON NSR SF120 #293618791 待售
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ID: 293618791
晶圆大小: 12"
优质的: 2014
i-Line stepper, 12"
SMIF
No FOUP
SEMES KSPIN12 Track system
HP / HEWLETT-PACKARD DS10 Workstation
Module:
PM1: Light source
PM2: Alignment
PM3: Stage
Utility:
SR10MP 4IL2 Lens (NA: 0.50 ~ 0.62)
OSRAM HBO 5004 W/NIL Lamp for laser
Missing parts:
RL Buffer robot and controller
Morocco board
Piezo drive unit
FW Robot
(2) Blind Y
(2) Blind X
WL Box
DMCC UIP NSR Server workstation
Operating system: Windows
Hard Disk Drive (HDD) has been removed
2014 vintage.
NIKON NSR SF120是一种晶圆步进器,用于半导体制造和芯片制造。它是一个对齐步进器,每小时处理多达200毫米晶圆。它结合了NIKON备受赞誉的两轴精度和卓越的成像性能以及先进的对齐算法,以提高迭加精度。这种半导体步进器设计有先进的元件,以满足当今最苛刻的晶圆制造环境的需求。它能够掩码与掩码对齐,并具有用于单位置对齐的内置对齐功能。在低线性误差和迭加误差的情况下提供高吞吐量的生产稳定性.NIKON NSR-SF120使用具有3晶片阵列图像捕获系统的成像设备,以抗震方式安装在可靠和稳定的腔室内。这个成像单元有一台高NA照明机,具有独特的NIKON光学设计,能够捕捉高质量的特征成像而不会蒙版失真。它还使用专有软件有效、准确地识别和对齐腔室内的部件。NSR SF 120优越的设计使得它能够用于光刻工艺,如光刻图样和高精度迭加对准。由于它具有高速度、高精度的特点,它还能够进行光学图样检查、门和接触孔图样的划定、散射测量和掩模对准。NIKON NSR SF 120是一种坚固可靠的晶圆步进器,非常适合广泛的生产需求。它能够处理200 mm或300 mm晶片的最大4英寸负载,因此适合处理最困难的生产难题。此外,它还提供了先进的过程控制,提供了出色的点对点稳定性和生产率。在安全方面,NSR SF120拥有安全稳定的操作环境,安全特性广泛。它配备了多约束时钟工具和可靠的光束阻挡挡板护罩,以确保安全运行。此外,它的高级备用资产在闲置模式下可确保低功耗。总体而言,NSR-SF120是一种可靠而强大的半导体步进器,专为最苛刻的制造操作而设计。其三晶片阵列成像模型和先进的对齐算法导致高吞吐量和卓越的迭加精度。它还提供了广泛的安全和过程控制功能,使其成为小型和大型芯片制造商的合适选择。
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