二手 NIKON NSR SF120 #293628325 待售

NIKON NSR SF120晶片步进器是一种设计用于光掩模生产的高精度光刻机。这种晶片步进器使用多芯片投影光学器件和全自动对准器，以及各种其他组件，以前所未有的精度和稳定性提供光掩模生产。NIKON NSR-SF120在紧凑的空间内实现了高水平的图像质量,使其非常适合后端过程,如接触对齐、对齐和线条/空间阵列。NSR SF 120利用极精确的单列4场对准设备结合开环Galvo-mirror。这提供了比其他可用的光掩模生产系统更精确的对齐和更高的成帧精度,同时还具有更高的可配置性和更易于操作。NSR SF120还具有干燥晶片级,使其不需要湿态生产环境。NIKON NSR SF 120中包含的高精度投影光学器件提供了2.0-3.0微米的成像和光刻精度。除了系统提供的更广阔的视野外,这NSR-SF120非常适合生产具有挑战性的形状和几何形状的高级光掩模和半导体图样。该设备还具有高达1m/s的惊人扫描速率，适合大批量生产。NIKON NSR SF120还拥有集成的自动对焦单元,提供出色的深度聚焦（DOF）。这使得机器能够在晶片扫描过程中自动调整焦点设置，确保在每种情况下都能达到最高的图像质量。此外,NIKON NSR-SF120还具有快速自动批处理对齐功能,能够准确、快速地将目标模式置于所需坐标上,同时消除四舍五入误差。NSR SF 120具有快速机器人晶片交换（REX）工具,可自动交换晶片和剥离板,从而提高吞吐量并降低人工成本。它还包括一个先进的检查和校准资产，使精确的图表和重复目标模式比以往任何时候都容易。此外，其先进的软件包括精确的三维软件模拟器，以可靠和高效的方式提供虚拟光刻和轮廓对齐。总而言之,NSR SF120是一种非常精确、通用且可靠的晶片步进器,非常适合生产高精度光掩模。NIKON NSR SF 120以其最先进的光学器件、自动工艺流程和批次对准器、快速晶圆交换以及精确的晶圆级和检测系统,提供了目前可用的最高水平的图像质量、吞吐量和稳定性。