二手 NIKON NSR SF120 #293639081 待售

NIKON NSR SF120
ID: 293639081
i-Line stepper Resolution: 0.28 / 0.62.
NIKON NSR SF120是一个4轴全场步进和重复晶圆步进。它设计用于高精度和经济高效的晶片处理,允许用户从他们的晶片过程中获得最高的产量。NIKON NSR-SF120比前几代晶片步进器更精确、更快、更稳定,在处理复杂晶片时能够达到前所未有的吞吐量。NSR SF 120配备150毫米/秒。直接驱动级和具有热补偿的高精度定位设备,可实现0.01 µm以下的精确定位和级精度。NIKON NSR SF 120还具有先进的光学系统,可确保步进器能够传送具有高分辨率和干净边缘的图像。先进的远心光学还允许广阔的视野和优化的照明,导致高对比度成像。NSR SF 120的全场步进器设计提供了出色的吞吐量,并最大限度地利用了可用的成像工具。高级软件允许完全定制,允许底物和工艺技术的不同操作模式,并为高级自动化、工艺精度和可靠性提供工具。NSR-SF120还可以与其他系统集成,以最大限度地实现晶圆处理。NIKON NSR SF120配备了一整套先进的监控系统,包括自动转向功能、离线成像工具和集成激光剖面仪。该单元还包括光帘、运动控制系统、脚开关锁等标准安全功能。NIKON NSR-SF120对晶片加工的所有阶段提供了极好的控制,确保了尽可能高的质量和产量。NSR SF 120的高级功能使其成为工艺开发和生产的理想选择。先进的光学机器和定位工具,结合多个基板支架,使NIKON NSR SF 120成为功能强大的晶圆加工工具。NSR SF120提供卓越的可靠性、准确性和用户友好的软件,使其成为任何晶圆处理应用程序的理想选择。
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