二手 NIKON NSR SF120 #293757652 待售

NIKON NSR SF120晶圆步进器是一种高速、5轴扫描晶圆步进器，设计用于制造半导体和微电子电路。这台先进的设备配备了高度动态的光学投影系统和强大的数控运动控制单元，每秒可输出高达2000万个精密纳米步长。这台设备优越的图像分辨率和扫描速度使其成为各种光刻操作的理想选择。NIKON NSR-SF120 Wafer Stepper利用双轴扫描头提高了吞吐量和精度。这种独特的设计采用了低成本的操作计电动机和基于压电的级驱动电动机，在高速下具有极好的精度。光学投影机的平均MFD为1.3µm，最大曝光面积为150 mm x 150 mm，最大视野为121mm x 121mm。该工具还采用了基于模型的失真校正，用于精确的图像缝合。NSR SF 120晶圆步进器通过其先进的曝光控制功能,实现了对光刻处理的全面灵活性和控制。实时曝光控制（RET）功能等功能可确保每个模式或字段大小的曝光水平一致。它还支持自动对数扫描和电路模式校正等功能，以及自动广域缝合和包容性模式设计。为了获得最大的吞吐量性能,该资产还包括一个可选的高速卡盘启用功能,它为电路模式设计提供了额外的时间。NSR SF120 Wafer Stepper还为将来的升级提供了一个环境,因为有各种各样的选项。强大的连接选项包括以太网端口、USB端口和兼容的主摄像头端口。可以添加可选的附加组件,例如3D扫描头、激光钻头和掩码对齐器,以增强功能。通过将精确的CNC运动控制与0.99 µm精度水平和坚固的光学投影模型相结合，实现了最大性能。总之，NSR-SF120晶片步进器是一种先进的光刻设备，非常适合半导体和微电子制造。其高扫描速度、精确的数控运动控制以及坚固的光学投影系统使其成为希望提高生产吞吐量的企业的理想选择。广泛的选项还允许用户为特定应用程序合并其他组件。