二手 NIKON NSR SF120 #293817934 待售

NIKON NSR SF120 Wafer Stepper是一种全自动机器,旨在以最高的速度以最高的生产力提供高精度的阵列。这台机器具有6英寸或8英寸的晶圆尺寸,最大磁场尺寸为400mm x 400mm,高分辨率为0.059 μ m。适合于各种图样化技术和应用，如反应性离子蚀刻、离子植入、干蚀刻等。NIKON NSR-SF120利用独特的设计特性最大限度地提高效率和准确性。NSR SF 120注重多功能性和速度,提供多阶段自动对焦功能,可提供高精度,以适应现代自对齐多阵列（SAMP）过程的复杂性。此功能还通过减少焦点时间和提供以前的技术无法实现的广泛可重复性来提高吞吐量。NSR-SF120还具有高加速度和减速的脉冲扫描仪。此功能允许高速图像扫描,有助于提高吞吐量并降低可实现的分辨率。NIKON NSR SF 120的扫描截面高达6.5nm,充分准备了满足即使是最先进的铸造工艺的需求。NSR独特的照明光学元件SF120使其成为处理拓扑结构不统一的晶片的理想选择。可变边缘流浪光照明系统（VESLI）使优化的光学分布能够适应不断变化的晶圆拓扑，同时提供更好的光敏度和对比度。这可以提高阵列精度的质量,同时仍能提供高生产率的操作。为了最大限度地提高NIKON NSR SF120的工艺效率,提供了一个多光路选项,允许同时对两个或多个晶圆进行高速成像。这样可以减少晶圆交换和映像验证任务所需的时间,从而提高流程吞吐量。NIKON NSR-SF120是一种高度复杂但易于使用的机器,具有要求最苛刻的过程所需的特性和性能。它是一个可靠而强大的工具，能够为各种高级图样应用提供最佳效果，包括离子植入和掩模级光刻。