二手 NIKON NSR SF120 #9243871 待售

NIKON NSR SF120是用于生产半导体元件的下一代晶圆步进器。它是一种先进的光学光刻工具,旨在提供卓越的吞吐量和增强的成像能力。该设备配备了高端光学器件和精确轮廓扫描头，使其能够在广泛的生产环境中在晶片上传送设备图样的高分辨率图像。NIKON NSR-SF120允许对高级特征（如Duple Patterning （DP）和2D/3D结构）进行精确、灵活的阵列设计,并具有最大的透明度。它支持多种曝光技术，包括单波长曝光（SWE）、多波长曝光（MWE）和多级曝光（MLE）。该系统还可以容纳双波长曝光模式，允许用户在广域内改变每个波长的曝光参数。NSR SF 120能够提供精确和可重复的对齐、覆盖重复性、高分辨率成像和减少阵列损坏。这个先进的单元还可以容纳不同的晶圆大小，从4"到12"。NIKON NSR SF 120也极为可靠高效。它旨在减少工艺步骤的数量，并从每个晶片中提取最大吞吐量。其强大的电机可实现高速、精确的扫描,其专用控制单元与优化的曝光控制单元配合使用,以确保画面的精确度。NSR SF120还设计了高端通风系统，以保持低温，确保生产过程顺利进行。它还配备了先进的警报和自我监测系统，可立即提醒人员注意任何违规行为。最后，NSR-SF120具有玻璃自动对准和聚焦检测等特点，进一步提高了精度和精度。总体而言,NIKON NSR SF120是一种高度先进的晶圆步进器,旨在提供卓越的成像能力和最大吞吐量。利用各种曝光技术和先进的电机工具，它可以实现更高的精度和可重复性，以及可靠的操作。