二手 NIKON NSR SF120 #9247819 待售

NIKON NSR SF120是一种设计用于集成电路制造的超高精度全场晶片步进设备。它设计用于制造精密度为1.2微米（100-KeV）的电路元件。该系统采用NIKON系列光刻系统通用的远心照明方桉，在抛光晶片的整个表面上提供半色调图桉的投影。NIKON NSR-SF120单元的设计使晶片的高吞吐量处理具有单一曝光机，吞吐量为每小时250晶片。该工具由具有线性光学场的高性能运动资产、高精度成像透镜、高效光源和模型控制器组成。晶片级设计为提供精确、可重复的抛光晶片运动，这对于实现高通量至关重要。晶片级包括无摩擦直线电动机，能够在X轴和Y轴上精确定位晶片。NSR SF 120设备中的成像透镜针对小于1.2微米的成像元件进行了优化。成像系统的关键组件是偏离轴和非对称偏离轴抛物面反射镜,可最大程度地减少成像单元中的像差。光源是波长为248nm的KrF准分子激光器，为抛光晶片上的小结构成像提供了优越的性能。机器控制器提供对成像光学器件以及晶圆运动工具的精确控制。可以为NSR SF120资产配置其他选项,从而进一步提高其性能。其中包括用于极小结构成像的高分辨率光学器件，以及用于处理大型晶片尺寸的专用晶片级。该模型还提供了一个可调清洁设备，进一步提高其精度和提高过程周转时间。综上所述，NIKON NSR SF 120晶圆步进系统是为超高精度集成电路制造而设计的。它具有先进的光学和晶圆运动系统，以及提供必要光源的KrF准分子激光器。此外,客户还可以为其系统配置其他选项,以进一步提高性能。