二手 NIKON NSR SF120 #9247820 待售

NIKON NSR SF120是晶圆步进器，是NIKON半导体光刻设备的最新补充。此晶片步进器的设计目的是提供比传统制造设备更先进的阵列设计能力和更高的吞吐量。数值孔径（NA）为0.75和1.0，能够在直径达150 mm的晶片上产生高度精确的图样。其主要部件包括照明设备、投影光学系统和先进的晶圆驱动单元。照明机具有能够形成强大光源的照明器，而投影光学工具则采用高性能的还原透镜以及光圈和高精度透镜组，以获得卓越的图像质量。晶片驱动器资产具有两个独立的级系统：一个用于阵列对准、放大和焦点控制的XY级，以及一个用于晶片对准的旋转级。这种组合为晶片的高分辨率成像提供了卓越的能力。NIKON NSR-SF120的设计具有高速操作、广泛的图像形成元素选择以及高级图像处理功能等高级功能。它与NIKON专有软件套件完全兼容，可以调整以适应任何生产环境。此外,NSR SF 120还配置为用户可以通过其电子控制模型手动或自动处理晶片。NIKON NSR SF 120的先进光学和图像处理能力使超高分辨率、亚纳米成像，可用于为细线特征创建精确的图样，对于生产具有细线特征的高密度集成电路特别有用。此外，这种晶片步进器具有延长的使用寿命和优异的性能，适合半导体工业的严格精度要求。总之，NSR-SF120是一个先进的，高度可靠的晶圆步进设计，以提高吞吐量和优越的模式能力。凭借其创新的光学和成像技术，它特别适合从光刻到玻璃镀层的一系列半导体光刻应用。NSR SF 120的高级功能提供卓越的性能,使用户能够获得最高质量的结果。