二手 NIKON NSR SF120 #9251799 待售
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NIKON NSR SF120是一种最先进的晶圆步进机加工设备,设计用于生产超高精度的微电子元件。步进器能够成像直径达6英寸的大小晶片基板。该系统由高级阶段、透镜单元和高度敏感的成像方法组成。NIKON NSR-SF120采用了独特的晶圆安装级,其较高的平面度小于2.0微米。这样可以提高晶圆扫描和成像过程中的精度。该级在NIKON HyperDrive单元上运行,可减少像差并提高精度和吞吐量。舞台还设计了线性运动电动机,这有助于更平滑的运动和精度。NSR SF 120镜头单元由一组四个镜头组成,旨在提供典型的图像分辨率。透镜的特点是NIKON精细成像透镜,例如阿波罗透镜和Vistar透镜。镜片具有低像差的特点,可在具有挑战性的制造过程中提供最佳效果。NSR-SF120所采用的先进成像方法包括串联场扫描技术,这种技术可以实现领域间的精确重迭成像,从而改进晶圆的解释。此外,它还具有独特的光源,能够控制80 MHz的脉冲,以改进成像。步进器还配备了一个创新的自动校准机,用于聚焦和曝光调整。NSR SF120是一种优越的晶圆步进加工工具,旨在生产精度最高的微电子元件。该资产拥有一个经久耐用的晶片安装台,专为精确度和优越的成像镜头而设计,以及改进图像分辨率的先进成像方法。由于这些原因,NIKON NSR SF 120是要求苛刻的电子制造工艺的可靠选择。
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