二手 NIKON NSR SF120 #9251800 待售

NIKON NSR SF120是一种高性能、高精度和高度可靠的晶圆步进器。它专为生产和开发而设计,可用于各种应用,如微加工、光刻和光学图样。配备单级步进设备的NIKON NSR-SF120提供卓越的对准精度、高吞吐量和广泛的曝光选项。NSR SF 120提供了一个晶片级，能够支撑直径达6英寸的晶片。晶圆级具有外框，具有刚性铝结构和高精度差分空气轴承级。其设计允许在XY和Z轴上进行精确的舞台运动，使其能够提供高达5晶圆/秒的最大吞吐量，并实现高水平的对准精度（± 0.5 µm）。该阶段还配备了全自动对准系统。NSR SF120配备了300 mm镜头罐，针对各种NIKON光学进行了优化，提供了广泛的视野和数值光圈。该装置还配备了一台功能齐全的高精度对准机器，可灵活准确地定位光学元件。150W汞灯提供了广泛的曝光能量，根据应用情况允许了广泛的曝光设置。卤素光源的短波长使NIKON NSR SF 120能够达到1 µm的分辨率。NSR-SF120提供了一个全面的控制界面，允许工具自动化和易于集成到生产环境中。其用户友好的触摸屏界面允许一个设置资产和调整参数在任何时间。此外，NIKON NSR SF120遵守相关安全条例，并提供方便用户使用的安全模型，使设备的运行安全高效。因此，NIKON NSR-SF120是实现高效、精确晶圆曝光的理想选择。