二手 NIKON NSR SF120 #9310946 待售
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ID: 9310946
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
i-Line stepper, 12"
SMIF Type: OHT
WL In-line (FOUP: Front In-line)
Signal tower: (3) Colors
Right and left chamber
Temperature controller
Lamp cooling unit
Back side frame
(2) Lamp houses / Loader rails
Top chamber
Control panel
(3) Boxes
Automation online component: SECE
Aperture INA: 0.45
Focus system: Multi focus
Leveling system: Table
Main body:
Magnification: 1/4 Reduction
Light source: 365 nm
Resolution: 0.28 µm
Variable lens: 0.50 to 0.62 nA
Exposure filed size: 25 x 33 mm
Lens adjustment:
(5) PIEZO: 3 Axis
Lens cloudiness: Lemon skin filter
PC System hardware:
Type: DS10
Y2K Completion
No UPS system
Reticle size, 6"
Variable reticle microscope
Alignment sensor:
LSA
FIA
AIS
No LIA
Illumination interferometer system:
Mercury ARC lamp: 5 kW
Wafer stage
Reticle stage
Wafer loader, 12"
Type 3
Port number: 1
Notch type
Hold type: Ping type
Cassette
Front in-line (EFEM)
Pre-align type: NC PRE2
No edge exposure
Reticle loader:
SMIF Type (OHT)
Library / Slot: (2) Indexes
Barder reader
Particle checker: PPD2
Library: Center
Control rack:
Type: Right
Cable length: Normal
s52 Chamber:
Type: Sendai chamber
Single
BATC / CATC / LLTC: 23°
Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase
Missing parts:
(4) ALG-AF Control PCB
FIA-AF Control PCB
2003 vintage.
NIKON NSR SF120是一种晶圆步进器,专为制造小型高分辨率设备的高级光掩模而设计。它用于纳米成像，能够创建具有较少抗蚀性、缺陷水平和高吞吐量的高质量光掩模。NIKON NSR-SF120具有步进光学设备（SOS）,具有4英寸（100毫米）掩模场大小,可用于适用于单层至5层掩模的高分辨率成像。光学器件还包括6轴对准,精度为0.1 um,分辨率为0.02 um,用于纳米级成像。此外，晶片步进器还具有一个对准系统，该系统利用一个1.4百万像素分辨率CCD摄像机进行自动晶片运动检测，以及一个三轴振动检测单元，该单元可以检测来自环境的低水平振动，以提高光学稳定性。晶圆步进器还包括利用最先进的计算算法进行高吞吐量优化的完全过程控制机（CPCS）。CPCS允许用户实时监控和调整曝光过程，以获得最佳的掩模制造。此外,NSR SF 120还包括一个AVI （AutoVision Interface, AutoVision Interface, AutoVision Interface, AutoVision Interface, AutoVision intAVI通过先进的光学地形和几何测量技术提供了改进的模式传输精度和自动化。晶片步进器还提供了扩展的PC控制晶片操作界面，允许用户快速设置、检查或调整晶片位置。在可靠性方面,NIKON NSR SF 120以其先进的冷却资产以及坚固的机械和环境保护功能而设计,具有很高的弹性和耐用性。晶圆步进器也由于其自动化的晶圆对准和交换特性，允许用户在不同的基板之间轻松切换。步进器的快速晶片加载时间为60秒,4英寸（100毫米）掩模场大小的处理时间为90秒。最后,NSR-SF120配备了用户友好的维护功能和可定制的操作按钮,以实现最佳性能。
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