二手 NIKON NSR SF120 #9351366 待售

NIKON NSR SF120是一台适合标准200 mm晶圆生产阶段的晶圆步进机。NIKON NSR-SF120专为高端半导体生产而设计,以经济实惠的价格提供卓越的性能和高级功能。NSR SF 120采用4轴设计,具有X、Y、θ和Z轴级,可在对准和曝光过程中移动晶片。NSR SF 120的高动态响应和高精度编码器有助于提高工艺精度，其扩展的X轴范围使得处理多达16个8英寸晶圆成为可能。NSR-SF120具有10倍、E场 NA2.4光学透镜,以及先进的对准设备,可提供更快的对准,而不会牺牲精度。NIKON NSR SF 120还包括一个先进的低噪声执行器，以减少振动和确保优越的过程稳定性。先进的对准系统自动调整镜头焦点，减少散光。NIKON NSR SF120还提供自动亮度控制、自动晶圆负载对准以及先进的涂层和薄膜自动化。凭借其先进的可编程处理，NIKON NSR-SF120可以实现广泛生产步骤和工艺的自动化，包括晶片加载和涂层、晶片边缘曝光、光掩模插入、对准、曝光等工艺。NSR SF 120甚至允许模式识别功能，以节省时间和提高准确性。此外,NSR SF120还包括一个高级晶圆处理单元。自动化装卸机利用空气承载技术，将晶片直接从对准步骤输送到下一步，从而实现更快的处理周期。由于它能够处理多达16个8英寸晶圆,这种自动化工具减少了停机时间并提高了吞吐量。NSR-SF120的长寿命电机和控制器还提供卓越的性能和提高的速度。NIKON NSR SF 120以其灵活的架构和先进的特性，是高端生产半导体晶片的理想选择。其最大数据吞吐量速率高达150kHz,而游戏速度可高达68kHz。NIKON NSR SF 120的标准功能还包括多个MTF和其他图像处理功能。晶圆步进器还提供自动挂起功能，当检测到弱光条件时可以挂起处理，确保优异的效果。