二手 NIKON NSR SF130 #293603896 待售
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ID: 293603896
i-Line stepper
EFEM
Projection lens
Illumination unit
Interferometer laser (Wafer stage)
Interferometer laser (Reticle stage)
Control rack
Temperature unit
Operation unit
Pneumatic control box
RL-LIB10MP Board
6-Axis vibration measurement unit
Wafer holder
Chemical filter
Wafer reticle
Lamp house cool unit
Power supply box
Illumination power uniformity:
Power: 619.474 mw / cm²
Uniformity: 2.229%
Stepping accuracy step:
X: 10
Y: 13
Stepping accuracy back:
X: 9
Y: 11
Inclination:
TFD: 0.068
AS: 0.029.
NIKON NSR SF130是一种深紫外线（DUV）晶圆步进器，具有高分辨率透镜和可调照明水平，非常适合先进的光刻工艺和应用。该设备能够实现极高的分辨率,可降低到13 nm的功能尺寸。这种分辨率水平对于高级处理器节点光刻以及半导体行业的其他高级应用来说往往是必需的。NIKON NSR-SF130步进器具有许多旨在提高性能的功能。它配备了NIKON Enhanced OSA，可以自动检测晶圆表面的特征，帮助优化曝光设置。该系统还具有一个弧形窗口,用于补偿晶圆在曝光时运动过程中可能发生的位置错误。此外,NSR SF 130还具有四端口光学扫描模块,以方便多光束扫描功能。在分辨率方面，NSR-SF130能够通过其先进的两相四相镜头单元产生13 nm图像。它还能在面积上产生高达300 x 400毫米的暴露场，以每小时高达480晶圆的速度产生。因此，该机器提供了多种选项，以适应各种具有挑战性的平版印刷应用。NSR SF130也是高度可配置的，有大量的曝光波长、照明水平、曝光场和可编程晶圆传输系统选择。它利用高分辨率CCD成像工具,可以快速提供曝光反馈,使资产能够实时进行必要的调整。最后,NIKON NSR SF 130机型的设计非常用户友好,图形简单,操作简单易用。直观的界面可用于输入数据、调整曝光设置、查看曝光结果。该设备还配备了多项高级软件功能，如曝光监控、缺陷审查和过程映射。所有这些功能都是为了简化光刻工艺并使操作员更容易保持效率和准确性。
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