二手 NIKON NSR SF130 #293630223 待售

NIKON NSR SF130是一种专门的晶圆步进器，用于生产高性能集成电路和其他微电子元件的光刻加工。利用可变形状光束（VSB）和选择性聚焦/非选择性照明（SFI/NSI）等先进、先进的扫描方法，最大限度地提高曝光后分辨率，提高模式保真度，确保模式传递准确。NIKON NSR-SF130利用了一个可编程的扫描阶段，这使得光刻面罩和基板的移动和定位具有显着的灵活性，而紫外线激光则以极高的精度将面罩图样跟踪到基板上。此扫描级能够处理高达8英寸的晶片,定位精度（X、Y和θ为0.05 μ m。在0.1 μ m时扫描的重复性也非常好。步进器还配备了精确控制激光功率和曝光时间的高精度剂量控制设备，以及保持基板平坦性和平行性的真空卡盘系统。此外,NSR SF 130还具有一个闭环调节器单元,可确保减少掩模热膨胀引起的像差,从而确保高分辨率打印。除了令人印象深刻的准确性和性能外,NSR SF130还具有很高的效率。它内置的高精度晶圆对准机可以缩短设置时间并提高生产率,其优化的聚焦控制工具也是如此,该工具在整个曝光过程中监视和调整晶圆的位置。此外，其热扩散激光密封模块显着降低了资产中的热辐射，从而提高了整体模型稳定性。总体而言,NSR-SF130是一款非常先进且功能强大的晶圆步进器,能够以最高的精度和速度提供高分辨率打印。NIKON NSR SF 130凭借其集成的剂量控制设备、高精度的扫描级、晶圆对准系统和优化的焦点控制单元，非常适合安全快速地生产集成电路和其他质量最高的微电子元件。