二手 NIKON NSR SF130 #293655222 待售
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NIKON SF130是半导体晶圆制造中使用的中程晶圆步进器。它是一种广受赞誉的生产设备，广泛应用于芯片生产、光掩模生产和先进的设备包装。NIKON SF 130的标准扫描场尺寸为5.9英寸（150）毫米，或以4.95微米的步长测量。它在整个扫描字段中提供高均匀性的曝光字段大小、平整度和分辨率。它具有25毫米的失真校正和10毫米的自动对焦能力，允许对晶片进行高度精确和可靠的光学扫描。SF130是具有高速Linac的步进扫描系统。它的来源是波长为532 nm的k （Kr）离子激光器。激光的功率范围很广,可扫描100 um/Sec或20 X/s。它配备了28.5kV电源，可以实现高精度和高分辨率成像。此外,它还配备了超精确干涉自动对焦系统,使步进器能够同时精确聚焦到每个单独的层上。除了其标准特性外，SF 130还结合了具有4X3X3M分辨率和宽视野的高能力光源，用于一致的光输出。此外,它还能够为ArF光刻提供各种180 nm DUV选项,以及用于高级设备封装的I-line功能。此外,系统具有出色的5个周期/小时吞吐量,在单个作业中可运行高达200个剂量水平。综上所述，NIKON SF130是一种高度可靠、能干的晶圆步进器，广泛应用于芯片生产、光掩模生产和先进的设备封装。它提供了5.9英寸的最大扫描场大小、25毫米的失真校正、10毫米的自动对焦功能、k离子激光器、28.5kV电源、4X3X3M分辨率和广阔的视野。它还能够提供各种180 nm DUV选项,并且具有令人印象深刻的5个周期/小时吞吐量。
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