二手 NIKON NSR SF130 #9191890 待售
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ID: 9191890
晶圆大小: 8"
优质的: 2005
i-Line stepper, 8"
Main computer:
System: DS10
Hard disk: DKA0, DKA100
Disk drive: CD ROM, Floppy disk
Illumination type: RET (Resolution enhancement technology)
Conv: σ = 0.7
2/3Wheel band: σ = 0.8
Small σ: σ = 0.4
1/2 Wheel band
IN σ: (SF100 Interchangeable, small σ)
Reticle microscope: Movable
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Normal
Wafer loader: OF
Type 3 robot
Cassette
Control rack position: Right (Body and one body type)
Reticle loader: 6" Normal
PPD
Bar code reader
Control temperature
Chamber type
Unit version:
OPD: A1v1.50
Wafer loader: 62V5.20
Reticle loader: 20V2.00
Wafer stage: ST10PV1.40
Wafer alignment: 83V5.10
Reticle alignment: 83V5.10
Lens controller: 10V0507
PI
Power: 5.0 kW
Currently warehoused
2005 vintage.
NIKON NSR SF130是受电子行业欢迎的高性能晶圆步进器。它具有NSR-S301A的扫描仪镜面和一个ringfield类型的光学器件，使机器能够以较低的成本产生卓越的质量图像和卓越的性能。NSR-S301A镜由Dual AXIS Stochastic Scanner驱动,使设备高效且响应灵敏。该机还具有较高的数值光圈系统，允许在步进器上使用更多的镜头而不牺牲成像能力。此单元可产生出色的3D图像和精细的分辨率。NIKON NSR-SF130具有超高精度主轴、符合人体工程学的设计和业界领先的用户界面。主轴具有40微米宽的纳米焦点，可产生0.09微米的图像分辨率。利用机器的高精度对准技术，用户可以轻松准确地调整步进器的位置，快速改变曝光设置。该工具采用了符合人体工程学的设计，采用了最新的现代技术，以确保资产能够承受长时间的工作时间，并在恶劣的条件下保持可靠。NSR SF 130的用户界面极其用户友好和直观。Hyper Smart Exposure （HSE）是一项独特的功能,使用户可以轻松地为其应用程序选择最佳曝光。步进器还具有自动对焦功能,可快速找到对焦场的最佳位置,以及脉冲相位调制功能,从而加快曝光时间并提高图像质量。此外,该模型还允许图像旋转、图像补偿和图像捆绑。总体而言,NSR SF130是一种出色的晶圆步进器,可产生卓越的3D图像和出色的分辨率。它具有符合人体工程学的设计和直观的用户界面，便于使用。利用高精度主轴,可以保持较低的曝光时间,同时确保卓越的图像质量。通过自动聚焦和脉冲相位调制，用户对其应用有了很大的控制。凭借所有这些功能,NIKON NSR SF 130成为任何电子行业的最佳工具。
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