二手 NIKON NSR SF130 #9222618 待售

NIKON NSR SF130是一种精密的晶片步进器工具,旨在提供精确的晶片处理能力。这种复杂的步进器支持各种关键功能，包括焦点对齐、迭加对齐和曝光曝光。NIKON NSR-SF130采用步进技术,为各种晶圆处理应用程序提供卓越的精度和可重复性。曝光控制和聚焦的精确度是通过自动转向2轴级实现的，该级能够将晶片精确定位到所需位置的纳米范围内。内置对准设备利用模式识别结构精确对准晶圆的阵列区域，即使曝光目标放置得非常接近。由于其先进的曝光系统,SF130能够实现较高的吞吐量。曝光单元具有两个独立的源,确保整个晶片均匀曝光。这台多源机器支持多种波长和照明类型，包括时间共享、多束、单耦合器和四CMOS曝光技术。同时具有双重曝光能力,使输出时间增加了一半,从而进一步增强了曝光工具。NSR SF 130晶片步进器还具有集成的依赖于XY的Auto-Focus资产,可提供非常精细的聚焦控制。Auto-Focus模型使用一种专有算法,它结合了基于边缘检测和梯度的技术来自动确定最佳曝光焦点。该设备还包括一个创新的主动散焦控制,它进一步优化了自动聚焦性能,并补偿了与所需曝光焦点的轻微偏移。NIKON NSR SF 130是一种尖端晶片步进工具,可提供卓越的精度、重复性和吞吐量,用于晶片处理。该工具为半导体光刻应用提供了一个功能强大且可靠的解决方桉，需要高精度和重复性。通用的曝光系统、集成的自动对焦单元和先进的对齐能力使SF130成为要求苛刻的流程的优越选择。