二手 NIKON NSR SF130 #9237550 待售

NIKON NSR SF130是一种多场、高精度的模模（D2D）步进器，用于对厚晶圆和平板显示器进行高级评审。NIKON NSR-SF130具有先进的12 mag和15 mag双多场透镜,因此可提供高要求光刻应用的卓越成像性能。此设备能够在75 mm x 75 mm成像区域内的任何点上显示单个阵列场,并且可以在2秒内在两个设置场之间切换。通过选择高速步进和扫描模式，这种步进器每小时可放置3至6个晶片，并可支持8英寸或12英寸晶片尺寸，减少面积为1/3。该系统具有与线性编码器的精细对准精度、聚焦和即时前向后扫描控制能力。它还有一个自动化的对齐单元，以确保更好的迭加对齐精度和减少错位风险。这台机器还采用了直线电机的高精度级和温度控制环境，以提高成像精度。NSR SF 130有一个真空卡盘和固定装置，用于防止基板打滑，使其能够精确地从晶圆周围暴露和转移光掩模。该工具还可以使用化学放大和热氧化物等各种类型的光刻胶，防止晶圆在转移过程中受到污染。NIKON NSR SF 130有几个强健的安全功能到位，如紧急停止按钮和一键式重置、自动恢复功能和自动关机功能。此资产使用低维护、易于操作的控制模型,该模型允许快速启动、简单维护,并减少由于输入跟踪而导致的停机时间。NSR-SF130结合先进的光学和创新的设计，以提供最大的过程控制和高效的晶圆处理设备。这种步进器利用了综合对准和漏光检测等先进功能，并通过其严密的精度水平和单晶片曝光能力实现了高产量。NSR SF130目前是其领域的领导者，并在包括半导体和平板显示器制造、生命科学研究以及其他精密成像领域等多个领域得到应用。