二手 NIKON NSR SF130 #9243127 待售

NIKON NSR SF130 Wafer Stepper是一款高精度、超高速光刻设备，具有广泛半导体器件制造加工应用的性能能力。该系统能够在广泛的动态范围内提供低于50 nm的分辨率,从而能够以优化的工艺成本生产高性能、高密度的设备。它在阵列晶片上提供了最高质量的成像,具有提高产量和设备性能所需的吞吐量和生产率。NIKON NSR-SF130具有很高的吞吐量,单材料每小时最多5,000晶圆,多材料每小时最多8,000晶圆。它还提供高速ND对准和曝光，同时能够执行多个晶圆对准。该单元采用高速数据采集来调整曝光设置和工艺优化设置，实时优化生产性能。NIST量子偏转多子场算法（QDMSA）实现了优化的成像性能,而AutoMatch成像技术减少了对准时间并提供了高精度晶片缝合。步进器具有灵活结构化技术,它提供可变的线宽功能,并支持悬垂和各种线角的工作,以精确定位阵列,即使在困难的3D区域也是如此。该机还具有超高分辨率NGREELEX,可消除线缘粗糙度,并能够生产高性能、超精细的设备。NSR SF 130为长期生产运行提供了卓越、稳定的生产性能,并为长期连续运行建造了防污染结构。它提供数字伺服控制,快速、精确的对准和曝光与最小的振动.该工具还配备了NIKON Smart Chip技术，用于集成操作和监测基于模式的性能，包括焦点、剂量和曝光设置。NSR SF130资产非常适合用于半导体大批量生产线,并通过创新解决方桉提供卓越的性能,以满足开发半导体器件日益增长的需求和复杂性。