二手 NIKON NSR SF130 #9244051 待售

ID: 9244051
i-Line stepper.
NIKON NSR SF130是一种高性能晶圆步进器,用于半导体光刻。它是大批量生产半导体器件的理想选择,因为它可以持续运行一段时间。步进器使用分辨率为0.6至5.6微米的Numeric Condenser (NC)镜头操作。其可重复精度为+/-4nm,线性速度精度为+/-0.004mm。它还具有平稳、无滞后的驱动设备,以保持高吞吐量应用中的准确性。NIKON NSR-SF130采用摆臂对准法设计,采用上下头系统。这提供了稳定性,同时减少任何可能由摆动和振动引起的机械应力。工艺的每一个阶段都用激光束控制,保证了高精度。步进器还具有NIKON CMOS传感器和高级数据处理单元。这使得它能够提供曝光数据的实时反馈和完整的晶圆分析。机器还能够自动聚焦,这有助于确保图像清晰清晰。步进器还配备了NIKON Dimsite Management Software。这为用户提供了用于管理计算机设置的直观界面以及一致结果的配方。此外,该工具还提供文件存储和编辑功能。NSR SF 130具有被动冷却资产,可进一步提高性能。此外,还有一个自我调节的电池板,它有助于确保高水平的稳定性和准确性。步进器还具有各种其他产品,如自动照明模型和各种对准传感器。总体而言,NSR SF130是大批量生产半导体的绝佳晶圆步进器。它具有多种功能,有助于确保生产过程的准确性和可靠性,其直观的软件使机器易于操作。
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