二手 NIKON NSR SF130 #9247821 待售

NIKON NSR SF130是一种用于生产半导体器件的高精度晶圆步进器。其高精度的对齐和分辨率功能最大程度地提高了工艺产量,同时提供了卓越的产品质量和较低的拥有成本。NIKON NSR-SF130是NIKON NEXACT系列晶片步进器的重要组成部分，用于生产一系列电子元件，包括有源电子元件、薄膜晶体管、CIS、RESIST和CCD区域。NSR SF 130最大分辨率为0.9 nm，允许极精确的设备对准和处理。这也允许高吞吐率，使得机器非常适合大规模生产。该机的机动化级具有高达400 mm/s的直线速度和150 mm/s的峰值加速度,定位精度为0.25 μ m。这样可以确保微型设备在工件上的快速准确定位。此外,该机采用高精度聚合物轴承级（PBS）,确保晶片处理平稳可靠,具有优异的减振特性,能够对晶片对准进行卓越的控制。先进的光学器件还提供了卓越的图像质量和高水平的可重复性。AFAS（Advanced Focus Algorithm System）将焦点设定调整到预定的水平，并根据所需的画面进行调整，有助于减少焦点调整时间。NIKON NSR SF 130还有一个洁净室兼容的覆盖物，使得机器适合于高精度和无污染的加工和激光处理。此外,该机器还包括晶圆对准传感器和集成扫描处理,使其能够直接集成到生产线中。此外,该机器还包括梁对梁冗余和亚微米对准功能,从而提高了产量。总体而言，NSR-SF130是一种高度精确和可靠的晶圆步进器，能够产生高吞吐量的优越设备质量。其高分辨率的对齐和分辨率功能确保了易用性和快速的设置时间,而其减振特性和集成扫描功能进一步增强了其功能,使其成为任何半导体生产设施中的一个宝贵且重要的补充。