二手 NIKON NSR SF130 #9311380 待售

NIKON NSR SF130 Wafer Stepper是为支持半导体生产而设计的先进光刻设备。该系统提供了一个先进的光学成像单元，利用精密级运动在半导体晶片上创建高分辨率特征。NIKON NSR-SF130是一台6英寸光刻机，采用先进的成像工具设计，具有缩放投影镜头，NA为0.25，高数值光圈镜头高达0.6。资产使用动态阶段模块来支持高达1mm的大型阶段移动。这使得模型能够在整个广泛的运动范围内保持焦点。通过内置高精度激光干涉仪实现图像平面、狭缝和聚焦检测，从而实现晶圆定位和光刻。该设备提供了一个标准的pellicle loader and masking system,以确保在处理和修饰口罩时特定于任务的准确性。NSR SF 130由高级控制单元提供动力,该单元具有直观的NC计算机单元,具有高级智能和集成的NC应用程序。机器包括自动对齐和自动对焦功能，允许精确的图样和准确的配准。此外,该工具还支持自动更正帧以实现更好的掩码定位。该资产支持包括0.5-8um、深紫外线、深X射线、可见和各种先进技术在内的多种曝光技术。分辨率范围为0.1um或更高，最大晶圆尺寸为6英寸允许快速生产。此外，该模型还提供了先进的工艺匹配，以确保在每个阶段都有一致的光刻模式。NSR-SF130晶圆步进器为半导体生产提供了可靠、高效的基础。其先进的成像设备和精确的控制为用户提供高分辨率的光刻，具有卓越的精度和速度。其多重曝光技术和对各种先进光刻技术的支持，使其成为中高容量半导体生产设施的理想选择。