二手 NIKON NSR SF130 #9383073 待售

NIKON NSR SF130是一种可靠、用途广泛的晶圆步进器，已成为半导体制造专业人士的热门选择。这种单场扫描晶片步进器能够在直径达6英寸的晶片上制作高精度和高分辨率的微光刻图样。它采用集成的NIKON NSR光学系统,采用离轴照明设计,并采用一步折反射物镜,可确保高性能和消除失真。该系统具有较大的工作面积，允许处理更大的基板，并且可以容纳多达八盒具有完美对齐的晶片。NIKON NSR-SF130配备了最先进的组件，确保了微光刻工艺的准确性和可靠性。其集成的高速数值模式发生器精确、精确地控制晶圆定位的X、Y级，从而实现了较高的经济性。其精确扫描速度高达20 μ米/秒，精度± 0.25 μ米。这台机器允许更高的曝光时间，同时结合了快速的XY级和先进的运动控制。NSR SF 130具有直观的图形用户界面，易于学习和使用。它使用户能够轻松控制和监视整个阵列制作过程。功能包括高分辨率成像和曝光模式的预览。它还提供了可变选择的针孔、自动对齐、可变聚焦位置和可变曝光时间,用于自定义阵列。NSR-SF130在设计和高级功能方面提供卓越的性能。它是用于微光刻应用的可靠、可靠和成本效益高的工具。它非常适合要求苛刻的工作，如小基板上的精密图样，以及一般用途，包括研究、原型制作和生产。NIKON NSR SF 130技术精密先进,是各种晶圆制造工艺的理想选择。