二手 NIKON NSR SF130 #9389330 待售

NIKON NSR SF130是一种先进的全自动步骤和重复光刻设备,专为高吞吐量、高产量和可靠性能而设计。该SF130是一个专用的晶圆步进器，旨在将高分辨率图样传递到各种基板上，包括硅、石英、玻璃和陶瓷。SF130的最大基板面积为200 mm x 200 mm,场尺寸为13 mm x 13 mm,可容纳各种晶圆尺寸和掩模尺寸。该系统具有自动聚焦和对准功能以及先进的透明度检测单元。SF130的成像光学系统具有特殊的结构和高性能光学系统，能够准确、精确地减少图桉布局。它还采用了NIKON Super Multi Layer Coating涂层的投影镜头，提供了出色的分辨率、对比度和激光的显着精度。此外，曝光控制机采用高速ND滤波器，可实现平稳曝光均匀性和快速切换时间。该SF130采用自动维护工具,用于监控关键组件并在出现故障时发出警告,以实现最佳的正常运行时间和可靠性。资产还具有直观的用户界面,可以轻松定制以适应各种生产环境,包括半自动操作。它还具有大量可根据用户需求定制的附加功能和选项。该模型可通过其各种通信端口和数据接口在各种应用程序中轻松集成。NIKON NSR-SF130配备了NIKON先进的晶圆配准设备，该设备采用了低失真光学图样感应头和大量配准表。这使系统能够跟踪和纠正基板位置的任何变化。总而言之,NSR SF 130是一种先进的高性能晶片步进器,旨在为各种应用高效、准确和可靠地生产高质量的微光刻技术。该SF130具有可靠的光学、ND滤波器、自动维护单元、直观的用户界面和先进的注册机器，是满足任何光刻要求的高效解决方桉。