二手 NIKON NSR SF130 #9391655 待售

NIKON NSR SF130是晶圆步进器，对于生产复杂的微电子器件如集成电路（IC）中的图桉化层至关重要。它由两个主要元素组成：投影光学和舞台。投影光学器件由安装在精确线性级上的透镜组成，负责将图像投影到晶圆表面上。这种投影光学进一步位于X和Y方向移动的舞台上。它还使用编码器来测量舞台的运动，并向控制设备提供反馈。NIKON NSR-SF130晶片步进器采用一流的功能来确保高分辨率和精确度。它拥有出色的投影光学透镜系统,NA为0.97,可提供高清晰度和线性,有效分辨率为0.75 µm或更低。此外，该晶片步进器还具有一个用于投影透镜和晶片的坚固保护单元，以及对流冷却，以实现高通量和稳定通量。NSR SF 130还配备了双射线场均匀校准机，以确保舞台的投影图像和照明点大小在所有位置上几乎保持等效。此外，投影镜头附有一个定制的安装稳定器，以消除像差，从而使晶圆表面的图样完美。这种晶片步进器提供了一种晶片对准工具，以实现高精度和高速度，这使得它非常适合成本敏感的生产环境。此外，其广泛的曝光设置使得它与图像发生器和一系列的光掩模兼容。最后，这种晶圆步进器具有一流的能力，以确保高吞吐量和精确的模式层集成电路，使其成为IC生产的领先者。