二手 NIKON NSR SF130 #9391948 待售

NIKON NSR SF130 Wafer Stepper是一种高性能、高精度的设备，用于半导体制造中的光刻图样生成。该系统是为晶片生产在8"、12"和更大的晶片上运行而设计的，用于晶片步进器应用，包括临界层和蚀刻后对准。尼康NSR-SF130提供0.05微米（1/20,000英寸）的分辨率，可重复性为0.02微米，非正交精度为0.5度。它能够扫描晶片,扫描速度高达450mm/秒。它是一个大直径的单梁台阶和重复单元，具有自动机器对准功能。这意味着它可以移动一个晶圆，并在整个晶圆区域精确地再现特征。NSR SF 130晶圆步进器装有投影镜头，使其能投影很小尺寸的影像。光源由CCD相机或半导体激光器提供，波长范围为320nm至450nm。利用稳定的信号束，该工具能够以最高的精度和精度产生纳米级图桉。其先进的图像感测技术确保了图像的准确捕获。资产能够在子像素级别检测图像的偏移和缺陷,从而纠正任何失真。通过自动对焦模型进一步提高了加工精度，该模型用于调整光学器件以获得最佳聚焦。NIKON NSR SF 130晶圆步进器还提供了多种图像优化功能，使其用户能够有选择地控制曝光水平和聚焦幅度。其先进的图像配准设备评估晶圆的厚度和地形，从而实现精确的迭加。它配备了一个名为NIKON GMS-MOTION的数据自动化软件包，简化了模式匹配和吞吐量优化的过程。该系统使用户可以灵活地创建模板、执行可重复的批处理作业以及在液晶显示器上显示信息。此外,NIKON SF130 Wafer Stepper与NIKON工作站集成,可以与外部软件集成。NSR SF130 Wafer Stepper是高精度项目的优秀投资。其先进的成像能力、坚固的构造和自动化灵活性使其适合广泛的晶圆制造过程。NSR-SF130具有高精度和重复性，非常适合半导体器件中关键层的开发，有助于提高产量和生产率。